美國馬薩諸塞州畢萊卡2011-03-15(中國商業(yè)電訊)－－Entegris, Inc. (NASDAQ: ENTG) 今天宣布，將在本周于中國上海新國際博覽中心舉行的 2011 SEMICON China 展會上展示對于半導體和 LED 制造商的最新解決方案。為了滿足 LED 制造商漸增提高產量而不斷的需求，Entegris 將顯示其新型 Ultrapak® 150 mm 厚外延片運輸盒及 Aeronex® 氣體純化系統(tǒng)如何通過提高和保持外延片的完整性來幫助制造商提高產量。

Ultrapak® 150 mm 外延片運輸盒是專為運輸 1.3 mm 厚度的外延片而設計的，該類外延片常用于制造 LED 芯片。這種聚丙烯運輸盒可將外延片穩(wěn)固，限制旋轉，減少微粒污染并防止外延片出現(xiàn)損壞或破裂。

“通過與主流 LED 制造商緊密協(xié)作，Entegris 確定并對其得到廣泛應用的半導體運輸盒進行了重大改進，符合了 LED 行業(yè)的獨特需求，”Entegris 的微環(huán)境部門副總裁兼總經理威廉•謝納如是說。“我們將制造商的建議與 Entegris 三十多年的外延片運輸經驗結合在一起，為這些關鍵基片設計出最堅固耐用的運輸盒。”

具體的改進包括加大外延片間距及節(jié)距，以符合比標準外延片更厚的外延片要求。設計還采用一種新型中級的輔助包裝系統(tǒng)來支持和保護更重的負載。新型外延片盒擴展了 Entegris 目前的 LED 外延片運輸盒產品系列，包括用于薄外延片的多數(shù)外延片運輸盒、單外延片運輸盒以及用于制造廠內部加工的多數(shù)外延片集裝箱。

除了 Ultrapak 運輸盒以外，Entegris 還將展出其面向高亮度 LED (HBLED) 制造應用的氣體純化解決方案 Aeronex 系列。這些系統(tǒng)能夠在最大運行時間內提供可靠的氣體純化服務，使制造商能夠生產出具有最高光致發(fā)光峰值和發(fā)光效率的 HBLED。該種多層設計可持續(xù)供應純化氣體，且有多個氮、氫和氨的流量范圍可供選擇。

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