國外開發(fā)可利用光線進行供電和通信的微型傳感器,支持批量生產(chǎn)
4月22日消息,據(jù)外媒報道,康奈爾大學(xué)(Cornell)開發(fā)納米級電子產(chǎn)品的研究人員研發(fā)出了微型傳感器,這種微型傳感器非常小,可在一個便士一側(cè)容納30000個這種微型傳感器。
這些微型傳感器不僅體積小,還有更多的功能,它們配備了集成電路、太陽能電池和發(fā)光二極管(LED),使它們能夠利用光線進行供電和通信。而且,由于它們是批量生產(chǎn)的,在8英寸的晶圓上可容納多達100萬個晶圓,因此每個設(shè)備的成本只有同一便士的一小部分。

肉眼幾乎看不到這些OWIC的集合。(圖片:康奈爾大學(xué)Alejandro Cortese)
該小組的論文發(fā)表在PNAS(“使用光學(xué)無線集成電路的微觀傳感器”)中。這項合作由約翰·A·紐曼物理科學(xué)教授保羅·麥克尤恩(Paul McEuen)和電氣與計算機工程副教授阿利沙·莫納爾(Alyosha Molnar)領(lǐng)導(dǎo)。他們與論文的主要作者、康奈爾大學(xué)(Cornell)院長博士后Alejandro Cortese博士(19歲)合作,設(shè)計了一個平行生產(chǎn)光學(xué)無線集成電路(OWIC)的平臺——尺寸為100微米(1微米是100萬分之一米)的微型傳感器,僅是人眼的斑點大小。
康奈爾大學(xué)自由基協(xié)作計劃的一部分、納米科學(xué)與微系統(tǒng)工程(NEXT Nano)工作組的聯(lián)合主席McEuen說:“在某種意義上講,構(gòu)建這樣的微型傳感器是一個古老的想法。但是我們將其尺寸又縮小了一個數(shù)量級,并使其可大規(guī)模制造。很多時候,當(dāng)人們制作這些小東西時,他們會手工將它們編織在一起,這樣既費時又費力。”
在本質(zhì)上,OWICS是一個像草履蟲大小的“智能手機”,可以專門用于應(yīng)用程序,但是,研究人員并沒有像手機那樣繁瑣依賴射頻技術(shù),而是將光作為潛在的電源和通信媒介。
McEuen說,在納米技術(shù)領(lǐng)域,將微小的電路放置在硅晶圓上相對容易,但是添加LED是一個特殊的挑戰(zhàn),因為它們是由不同的材料制成的:砷化鎵。為了將LED轉(zhuǎn)移到帶有電子元件的晶圓上并進行集成,研究人員開發(fā)了一種復(fù)雜的組裝方法,該方法涉及超過15層光刻、30種不同材料和100多個步驟。
一旦OWIC脫離了其硅襯底,它們就可以用于測量難以到達的環(huán)境中的電壓和溫度等輸入,例如活體組織和微流體系統(tǒng)內(nèi)部。比如裝配有神經(jīng)傳感器的OWIC能夠通過LED閃爍編碼信號來無創(chuàng)地記錄人體中的神經(jīng)信號并傳輸其發(fā)現(xiàn)結(jié)果。

此圖顯示了一個電壓感應(yīng)的OWIC,它裝在一分錢背面的林肯紀(jì)念堂內(nèi),并顯示了OWIC的組件示意圖。(圖片:康奈爾大學(xué)Alejandro Cortese)
作為概念的證明,該團隊與應(yīng)用與工程物理教授、論文合著者Chris Xu的實驗室合作,成功地將一個帶有溫度傳感器的OWIC嵌入腦組織,并無線傳輸結(jié)果。
McEuen、Molnar和Cortese已經(jīng)推出了他們自己的公司OWiC Technologies,將微型傳感器商業(yè)化,已通過技術(shù)許可中心提出專利申請。第一個應(yīng)用是創(chuàng)建可以附加到產(chǎn)品的電子標(biāo)簽,以幫助識別它們。這種微型、低成本的OWiC 可能會產(chǎn)生一代又一代的微傳感器,它們在跟蹤更復(fù)雜的現(xiàn)象的同時使用更少的功率。
Cortese說:“本文的電路非常簡單,但是你可以在其中一種設(shè)備上安裝數(shù)千個晶體管。這意味著你可以擴大設(shè)備感知的范圍,設(shè)備如何進行通信或完成更復(fù)雜任務(wù)的能力。我們確實將此平臺開發(fā)為一個平臺,因此許多人都有開發(fā)新設(shè)備、新應(yīng)用程序的空間。”



