據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，為了支持中小型企業(yè)的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用，德國(guó)弗勞恩霍夫協(xié)會(huì)旗下三家研究所正在聯(lián)合搭建一個(gè)MEMS超聲波換能器(MUT)平臺(tái)。

這三家研究所將與產(chǎn)業(yè)界合作伙伴共同開(kāi)發(fā)各種MEMS超聲波換能器件并試生產(chǎn)。

該項(xiàng)目由弗勞恩霍夫應(yīng)用研究促進(jìn)協(xié)會(huì)(Fraunhofer Gesellschaft)提供資金，專門(mén)面向中小型企業(yè)。

近年來(lái)，超聲波換能器已成為很多工業(yè)、醫(yī)療和移動(dòng)應(yīng)用的基礎(chǔ)器件，例如距離測(cè)量、微定位、手勢(shì)控制、碰撞傳感、內(nèi)窺鏡檢查和超聲波檢查等。目前，這些專用的超聲波換能器大多由中小型企業(yè)自行開(kāi)發(fā)和制造。

如今的MEMS超聲波換能器可以實(shí)現(xiàn)高度緊湊的傳感系統(tǒng)，提供更高的靈敏度，還可以利用陣列實(shí)現(xiàn)成像或指向等應(yīng)用。

此外，還可以避免使用對(duì)健康和環(huán)境有害的材料。不過(guò)，開(kāi)發(fā)這些基于半導(dǎo)體的超聲波換能器通常成本很高，這對(duì)于許多中小型企業(yè)來(lái)說(shuō)往往難以承受。

用于超聲成像的壓電MEMS超聲波換能器(PMUT)“我們與弗勞恩霍夫硅技術(shù)研究所ISIT和弗勞恩霍夫電子納米系統(tǒng)研究所ENAS一起，希望共同搭建一個(gè)MEMS超聲波換能器平臺(tái)。利用模塊化的方法，我們可以快速高效地適應(yīng)和開(kāi)發(fā)創(chuàng)新的超聲波系統(tǒng)，以滿足特定的應(yīng)用。”弗勞恩霍夫光子微系統(tǒng)IPMS研究所的Arg Amelung說(shuō)，“通過(guò)整合三家研究所的能力，我們創(chuàng)建了一個(gè)高效的聯(lián)盟，不僅可以利用技術(shù)組合確保廣泛的應(yīng)用，還擁有能夠進(jìn)行試生產(chǎn)的基礎(chǔ)設(shè)施。這為學(xué)術(shù)研究和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展搭建了橋梁，為中小企業(yè)提供了一個(gè)有吸引力的整體方案。”

作為MEMS超聲波換能器平臺(tái)開(kāi)發(fā)的一部分，將涉及三個(gè)核心中小企業(yè)研究領(lǐng)域：超聲波換能器制造技術(shù)、人機(jī)交互技術(shù)以及醫(yī)療應(yīng)用技術(shù)。

弗勞恩霍夫硅技術(shù)研究所ISIT“MEMS應(yīng)用”業(yè)務(wù)部門(mén)負(fù)責(zé)人Fabian Lofink博士說(shuō)：“我們相信，MEMS超聲波換能器的關(guān)鍵特性、小型化、靈敏度以及陣列功能，將在這里創(chuàng)造顯著的附加值。”