6月28日，廣州增芯科技有限公司12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目（以下簡稱“增芯項目”），在廣州增城開發(fā)區(qū)舉行投產(chǎn)儀式，中國國內(nèi)第一條12英寸MEMS量產(chǎn)線正式投產(chǎn)。

據(jù)官網(wǎng)介紹，增芯項目由廣州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團發(fā)起，于2021年4月成立，定位為國內(nèi)第一家專業(yè)定制化12英寸傳感器晶圓廠，針對智能化、微型化等物聯(lián)網(wǎng)應用領域中的核心器件（如力學、聲學、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片等），打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測與應用一體的先進制造平臺，產(chǎn)品包括三大類工藝產(chǎn)品MEMS、BCD及邏輯工藝，對廣州市及廣東省的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。

對于建設計劃，增芯科技按照“一次規(guī)劃、分步實施”原則，計劃用5年時間投資370億元，在廣州市增城區(qū)建設兩座智能化晶圓廠，總產(chǎn)能達到12萬片/月。

其中，增芯項目第一座晶圓廠（FAB1）分兩期，第一期產(chǎn)能2萬片/月，總投資70億元；第二期產(chǎn)能4萬片/月，總投資100億元；第二座晶圓廠（FAB2）為第三期，產(chǎn)能6萬片/月，總投資200億元。第一座晶圓廠預計2026年滿產(chǎn)，第二座晶圓廠預計2027年滿產(chǎn)。

2022年12月14日，增芯項目一期第一階段項目正式開工建設，批復投資70億元人民幣，建設月加工2萬片12英寸的MEMS晶圓制造量產(chǎn)線。

6月28日，增芯項目投產(chǎn)活動舉行，中國第一條12英寸MEMS量產(chǎn)線進入生產(chǎn)階段，本次投產(chǎn)的為增芯項目第一座晶圓廠一期。此前相關(guān)報道顯示，增芯項目將在2024年實現(xiàn)“3月光刻機進場、6月通線、9月產(chǎn)品下線、12月交付客戶”的階段性目標。

近年來，廣東省正在以智能傳感器、模擬芯片等產(chǎn)品為突破口帶動半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，大力推進“強芯工程”建設，增芯項目的快速投產(chǎn)便是其中的縮影。

在傳感器技術(shù)朝著微型化、集成化、模塊化、智能化方向演進的當前，MEMS技術(shù)已成為一場必然的技術(shù)革命。

據(jù)Yole最新產(chǎn)業(yè)報道的數(shù)據(jù)顯示，2023年中國大陸僅生產(chǎn)了約9萬片MEMS晶圓，遠遠不足與北美、歐洲、日本等地區(qū)110萬、75萬的產(chǎn)量相提并論。而中國卻有著在消費電子、汽車、自動駕駛、人工智能等產(chǎn)業(yè)市場下的廣袤的需求。在國內(nèi)積極推進產(chǎn)線建設的同時，也對本土MEMS企業(yè)在全球化市場中的競爭力提出更高要求。