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上海微系統所實現片上亞納米量級的超靈敏位移傳感
近日,中國科學院上海微系統所信息功能與材料國家重點實驗室硅光子課題組研究員武愛民團隊、深圳大學教授袁小聰、杜路平團隊及英國倫敦國王學院教授Anatoly V. Zayats課題組合作,在硅襯底上提出了基于布洛赫表面光場的非對稱傳輸特性實現超靈敏位移測量的方法,并實現了亞納米級的位移傳感。
07/07