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MEMS傳感器架構
  • 普渡大學的Jason Vaughn Clark要讓MEMS傳感器再次革新,他聲稱已經(jīng)開發(fā)出一套結合Electro micro metrology(EMM)的工藝制程,可讓傳感器進行自我校正,提供更精確的感測能力,這也是業(yè)界首個不需要通過外部裝置的自我校正MEMS傳感器架構。
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